技術(shù)編號：11252802
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種半導(dǎo)體器件及其制備方法。背景技術(shù)近年來隨著對阻變式存儲器(RRAM)器件研究的不斷深入，很多鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的阻變材料被發(fā)現(xiàn)。鈣鈦礦材料是指一類陶瓷氧化物材料，其分子通式為ABO3，這些材料都有著穩(wěn)定的電阻開關(guān)特性。SrTiO3作為一種經(jīng)典的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)材料，因為它具有可調(diào)諧的高介電常數(shù)、較低的介電損耗、良好的熱穩(wěn)定性等優(yōu)良性能廣泛應(yīng)用于消磁、微波、超導(dǎo)、傳感、催化等各個方面。認(rèn)識到SrTiO3本身具有如此豐富的性能，科研學(xué)者們開展了大量的工作對SrTiO3...
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