技術編號：11276023
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于半導體傳感器制備領域，具體涉及一種用于半導體傳感器的陶瓷基底及其制備方法。背景技術陶瓷基底因為質地輕盈，傳熱能力強，被廣泛應用于半導體制備領域。但是實際應用過程中，現(xiàn)有陶瓷基底穩(wěn)定性差，導致電子元件壽命降低，提高了電子產品的使用成本，不易于產業(yè)穩(wěn)定性發(fā)展。申請?zhí)?01210297813.2的中國專利公開了一種穩(wěn)定頻率的薄型片式陶瓷基底，該基底包括由至少四層平面型陶瓷基底結合而成的整體基底，所述整體基底厚度為1.2mm，在所述整體基底的上表面設置有條狀凸起。該基底厚度達到1.2mm，厚度...
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