技術(shù)編號(hào):11350496
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型整體涉及揮發(fā)性有機(jī)物處理系統(tǒng),尤指涉及一種設(shè)置于回轉(zhuǎn)蓄熱式焚化系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)閥。背景技術(shù)半導(dǎo)體及光電產(chǎn)業(yè)的制程常常需要利用化學(xué)反應(yīng)完成,此類(lèi)化學(xué)反應(yīng)多半會(huì)產(chǎn)生許多具有毒性的有機(jī)廢氣,例如揮發(fā)性有機(jī)物(volatileorganiccompounds,VOCs),而這些VOCs絕大部份屬于有害性的空氣污染物(hazardousairpollutants;HAPs),人體長(zhǎng)期暴露于含高濃度VOCs的環(huán)境中會(huì)有產(chǎn)生中毒及致癌性腫瘤等反應(yīng)。此外,大氣中的VOCs會(huì)產(chǎn)生光化學(xué)反應(yīng),導(dǎo)致大氣中臭氧濃度...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。