技術(shù)編號：11372028
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及碳化硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種坩堝保溫裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有的液相法生長碳化硅晶體技術(shù)，都是通過加熱的方式將硅在高純石墨坩堝中融化，形成碳在硅中的溶液，再將頭部貼付有籽晶的石墨軸伸入到溶液中進(jìn)行生長；現(xiàn)有技術(shù)中可以通過坩堝的升降或籽晶軸的升降來實(shí)現(xiàn)溫度的變化，但是現(xiàn)有的坩堝升降裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且由于晶體生長過程中對于溫度要求很高，現(xiàn)有的升降裝置難以適應(yīng)如此高的溫度，故障率極高，無法適應(yīng)晶體生長的要求，而如果采用高耐熱材料制備則會極大提高設(shè)備的成本和后期維護(hù)壓力；而且在實(shí)際操作中操作...
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