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      溫度傳感器芯片的測試校準系統(tǒng)的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:11372152

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      本實用新型涉及集成電路測試領(lǐng)域,具體涉及溫度傳感器芯片的測試校準系統(tǒng)。背景技術(shù)由于溫度傳感器芯片自身的溫度精度要求,其對恒溫環(huán)境的選擇標準要遠高于其他器件或設(shè)備,而當前應(yīng)用于其他行業(yè)的溫度環(huán)境營造設(shè)備的環(huán)境條件并不能直接用于溫度傳感器芯片的測試,國際領(lǐng)先廠商ESPEC和國內(nèi)領(lǐng)先廠商GWS等單位的產(chǎn)品中能夠支持-55℃~125℃工作溫區(qū)的立體器件的溫度偏差值一般在(±)1℃左右,腔體溫度均勻度在1℃~1.5℃左右,遠低于或持平芯片自身所要求的溫度指標,其中,所述溫度均勻度為腔體中相距最遠的兩點之間...
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