技術(shù)編號：11405358
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開大體上涉及用于化學(xué)感測的結(jié)構(gòu)，并且更具體地說，涉及例如集成到互補金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)襯底或相似的結(jié)構(gòu)中的電容式濕度傳感器。背景技術(shù)在很多自動化工業(yè)過程和氣候控制系統(tǒng)中，常常必須感測和控制環(huán)境濕度水平。電容式相對濕度傳感器廣泛用于各種應(yīng)用領(lǐng)域中，例如儀器、自動化系統(tǒng)和氣候?qū)W，以監(jiān)測和檢測濕度水平。當(dāng)暴露于周圍區(qū)域的大氣濕度條件時，濕度傳感器利用敏感材料(例如，介電聚合物)的物理和電特性中的改變。原則上，通過電容型有機聚合物膜濕度傳感器，吸附的水蒸氣占據(jù)聚合物分子之間的自由空間，并且聚...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。