技術(shù)編號(hào):11406233
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種MicroLED屏剝離液。背景技術(shù)在MicroLED屏基板的生產(chǎn)的光刻技術(shù)中通常包括在玻璃基板上依次進(jìn)行:設(shè)置金屬或金屬氧化物層的金屬配線形成工序;設(shè)置光致抗蝕劑層的工序;在光致抗蝕劑上轉(zhuǎn)寫掩模圖形的曝光工序;按照?qǐng)D形對(duì)模進(jìn)行蝕刻的蝕刻工序;以及除去光致抗蝕劑的剝離工序。在通常的制造工藝中光刻工序會(huì)多達(dá)十多次?;迳峡刮g劑層上形成有一層保護(hù)層,也無法輕易去除剝離。由于玻璃基板成本很高,如果直接廢棄會(huì)造成很大浪費(fèi),因此可以將不良彩色濾光片基板上的膜層全部剝離掉...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。