技術(shù)編號：11447247
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及光學測量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種采用夏克‐哈特曼法進行深紫外光學系統(tǒng)波像差的檢測裝置。背景技術(shù)在科學研究領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域，工作于深紫外波段的光學系統(tǒng)起著越來越重要的作用，如半導體微光刻用的投影光學系統(tǒng)、半導體工業(yè)中所使用的觀察系統(tǒng)、微納結(jié)構(gòu)制造過程中所使用的紫外光學系統(tǒng)等等，這些工作在深紫外波段的光學系統(tǒng)通常要求具有極小的波像差(幾個納米量級)。因此，這些光學系統(tǒng)系統(tǒng)在加工、集成及工作的各個環(huán)節(jié)都要進行波像差檢測。深紫外光學系統(tǒng)波像差檢測方法主要有基于光干涉原理和基于夏克‐哈特曼波前傳...
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