技術(shù)編號：11459565
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體制造裝置等中將基板固定而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)處理的情況下，檢查基板是否被基板保持部適當(dāng)?shù)乇３值幕灞３謾z查方法以及使用該基板保持檢查方法進(jìn)行基板處理的基板處理裝置，尤其涉及檢查基板保持狀態(tài)異常的檢查區(qū)域的自動決定方法。背景技術(shù)作為在半導(dǎo)體制造裝置等中對晶片等半導(dǎo)體基板(以下，也簡稱為基板)實施清洗處理、涂敷處理等各種處理的技術(shù)，有一邊借助基板保持構(gòu)件將基板保持為大致水平姿態(tài)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，一邊供給處理液進(jìn)行處理的基板處理裝置。對于該基板處理裝置，為了能夠使基板高速旋轉(zhuǎn)，如圖16所示，在與基板W的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。