技術(shù)編號：11459567
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種噴嘴調(diào)整工具及調(diào)整方法，特別是涉及一種清洗機臺的噴嘴調(diào)整工具及使用所述調(diào)整工具進行的調(diào)整方法。背景技術(shù)隨著各種半導(dǎo)體產(chǎn)品的廣泛應(yīng)用及半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體產(chǎn)品的批量生產(chǎn)規(guī)模越來越大。同時半導(dǎo)體產(chǎn)品的尺寸也越來越大，導(dǎo)致半導(dǎo)體工藝日趨復(fù)雜。而產(chǎn)品的生產(chǎn)不僅要求高精度，也要求高效率及高自動化，因此，對生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)系統(tǒng)和生產(chǎn)工藝也提出了更高的要求。對于半導(dǎo)體制品，例如有機發(fā)光顯示器件、液晶顯示器件、非晶硅太陽能電池板等，其生產(chǎn)都需要利用玻璃等作為基片，在基片上進行多種工序進而形...
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