技術(shù)編號(hào)：11540489
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種利用感應(yīng)加熱的蒸鍍裝置以及蒸鍍系統(tǒng)。更為具體地，涉及一種通過(guò)利用感應(yīng)加熱的非接觸式加熱來(lái)進(jìn)行蒸鍍，以實(shí)現(xiàn)對(duì)于大面積基板的蒸鍍，并提高蒸鍍物質(zhì)的使用效率和蒸鍍膜均勻度的利用感應(yīng)加熱的蒸鍍裝置以及蒸鍍系統(tǒng)。背景技術(shù)為了制造平板顯示器、半導(dǎo)體元件等，必須進(jìn)行在基板上蒸鍍所需薄膜的工序。平板顯示器的制造包括蒸鍍有機(jī)物或無(wú)機(jī)物的工序，半導(dǎo)體元件的制造包括蒸鍍金屬的工序。使用有機(jī)物的元件有液晶顯示裝置(LCD:LiquidCrystalDisplay)、有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置(OELD:Orga...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。