技術編號：11557782
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。用于檢查石墨烯板的設備和方法相關專利申請的交叉引用本申請要求于2012年4月9日提交到韓國知識產(chǎn)權局的第10-2012-0036800號韓國專利申請和于2012年8月8日提交到韓國知識產(chǎn)權局的第10-2012-0086942號韓國專利申請的優(yōu)先權，其全部公開通過引用包含于此。技術領域與示例性實施例一致的設備和方法涉及儀器的測量，更具體地講，涉及檢查形成有石墨烯的石墨烯板。背景技術隨著半導體技術的發(fā)展，正在積極執(zhí)行關于新材料的開發(fā)。具體地講，正在進行對于包括碳的材料(例如，碳納米管、金剛石、石墨、...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
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