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技術(shù)編號：11613770

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本發(fā)明涉及反應(yīng)器技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種鎵源反應(yīng)器。背景技術(shù)氫化物氣相外延(HVPE，HydrideVaporPhaseEpitaxy)設(shè)備為化合物生長工藝設(shè)備，主要用于在1000度左右高溫環(huán)境下通過如H2、HCl等氫化物氣體，使襯底表面外延生長一層如GaAs、GaN等的厚膜或晶體?，F(xiàn)有HVPE設(shè)備中，氯化氫氣體與金屬鎵進行反應(yīng)的鎵源反應(yīng)器主要存在以下缺陷：1、氯化氫氣體與金屬鎵的接觸時間短，氯化氫氣體未參與反應(yīng)就已經(jīng)流出反應(yīng)區(qū)。2、反應(yīng)器內(nèi)的液態(tài)金屬鎵的余量的變化，引起氯化氫轉(zhuǎn)化為氯化鎵的比率...
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