技術(shù)編號：11631664
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。分離鹵代硅烷的方法對相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2014年9月4日提交的美國臨時申請No.62/045,622的權(quán)益，其全文經(jīng)此引用并入本文。公開領(lǐng)域本公開的領(lǐng)域涉及分離鹵代硅烷的方法，特別是涉及使用具有將塔分成主部和側(cè)部的隔板的蒸餾塔生產(chǎn)三個鹵代硅烷餾分的方法。本公開的領(lǐng)域還涉及通過鹵代硅烷的歧化生產(chǎn)硅烷的方法和系統(tǒng)和生產(chǎn)多晶硅的方法。背景多晶硅是用于生產(chǎn)許多商品，包括例如集成電路和光伏(即太陽能)電池的重要原材料。多晶硅通常通過化學氣相沉積機制生產(chǎn)，其中由可熱分解的硅化合物將硅在流化床反應(yīng)器...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。