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      波紋管泵裝置的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11633661

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      本發(fā)明涉及一種波紋管泵裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制造、化學(xué)工業(yè)等中,作為用于輸送供給藥液、溶劑等流體的泵,有時(shí)使用波紋管泵。例如專利文獻(xiàn)1記載的那樣,該波紋管泵以如下方式構(gòu)成,即,將泵殼體連結(jié)于泵頭的左右方向(水平方向)上的兩側(cè)而形成2個(gè)空氣室,在各空氣室的內(nèi)部分別設(shè)置有能夠在左右方向上伸縮的一對(duì)波紋管,將加壓空氣交替地供給至各空氣室,由此使各波紋管收縮或伸長(zhǎng)。在泵頭形成有與各波紋管的內(nèi)部連通的流體的吸入通路和排出通路,并且設(shè)置有單向閥,該單向閥允許相對(duì)于吸入通路以及排出通路的朝向一個(gè)方向的流體的流...
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