技術編號：11644894
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種利用四氯化硅生產(chǎn)三氯甲硅烷的方法，更具體來說涉及一種在高壓條件下將液態(tài)四氯化硅與金屬硅粉連續(xù)氫化轉(zhuǎn)化為三氯甲硅烷的方法。本案是2015104455138(一種生產(chǎn)三氯甲硅烷的方法及裝置)的分案申請。背景技術目前，絕大多數(shù)的多晶硅生產(chǎn)方法是改良西門子工藝。這種工藝存在的一個主要缺點為：采用三氯甲硅烷為原料進行多晶硅沉積，反應過程中，生成大量副產(chǎn)物四氯化硅，若不加以循環(huán)利用，將危害環(huán)境并造成極大的原料浪費，嚴重影響生產(chǎn)成本。目前已大規(guī)模工業(yè)化的四氯化硅循環(huán)利用技術主要為冷氫化和熱氫化，...
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