技術(shù)編號：11656197
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明實(shí)施例涉及一種鰭式場效晶體管裝置。背景技術(shù)隨著電子裝置體積逐漸縮小的需求，已經(jīng)發(fā)展出來具有立體(3D)結(jié)構(gòu)的裝置。此類裝置的范例包括有鰭式場效晶體管，其具有由襯底上垂直凸出而高起的鰭狀結(jié)構(gòu)。對于具有復(fù)雜形貌結(jié)構(gòu)的裝置而言，需要維持裝置的成品率與性能。發(fā)明內(nèi)容依據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，鰭式場效晶體管裝置包括襯底、堆疊結(jié)構(gòu)、源極與漏極區(qū)、側(cè)壁絕緣體以及金屬連接件。襯底具有建置其中的鰭結(jié)構(gòu)。包括有柵極堆疊的堆疊結(jié)構(gòu)配置于鰭結(jié)構(gòu)上方。源極與漏極區(qū)配置于堆疊結(jié)構(gòu)旁。側(cè)壁絕緣體配置于源極與漏極區(qū)上。側(cè)壁...
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