技術編號：11686482
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及硅片及其加工設備技術領域，具體為一種硅片與硅片的加工模具。背景技術硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力。科學技術的發(fā)展不斷推動著半導體的發(fā)展。自動化與計算機等技術發(fā)展，使硅片(集成電路)這種高技術產品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應用于航空航天、工業(yè)、農業(yè)與國防，甚至悄悄進入每一個家庭。目前，現有的硅片大多數均呈圓環(huán)狀，雖然圓環(huán)狀的硅片在同等條件下可以擁有較高的體積用于安裝集成更...
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