技術(shù)編號：11705814
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微納操作平臺的激光檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于微納移動及旋轉(zhuǎn)角度測量的四棱鏡配鏡裝置。背景技術(shù)隨著微納操作技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用，多自由度尤其是實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)自由度的微納操作平臺日益得到關(guān)注，目前非定中心的旋轉(zhuǎn)問題、角位移和線位移的同步測量問題都沒有得到很好的解決。激光干涉儀因分辨率高、非接觸、受環(huán)境影響小、反應(yīng)靈敏等優(yōu)點廣泛應(yīng)用于各種精密測量系統(tǒng)中。目前多個激光干涉儀成套使用時，其光路的對稱性得不到保證，縱向光路和橫向光路不能夠保證其相互垂直，當待測物同步發(fā)生位移和旋轉(zhuǎn)時，不能夠測量出位移和旋...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。