技術(shù)編號：11706635
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)器件技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說，涉及一種用于極紫外的二維單級衍射光柵。背景技術(shù)衍射光柵發(fā)展時間較長，目前用于光譜儀的光柵一般為傳統(tǒng)的一系列的平行溝槽和線條組成的金屬薄膜黑白光光柵，存在多級衍射的問題。尤其是在極紫外波段，由于此波段存在大量的原子共振線與吸收線，任何材料對此波段的輻射都存在嚴(yán)重的吸收，甚至空氣也不例外，其吸收長度通常為微米或納米量級。因此，極紫外波段輻射的研究具有極大的困難。目前，很多的衍射光柵器件已經(jīng)被發(fā)明應(yīng)用，有的衍射光柵器件利用光柵制造周期D在(λ，2λ)區(qū)間時會抑制...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。