技術(shù)編號：11801691
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微納操作裝置，尤其涉及一種多驅(qū)動三自由度的板簧型微納操作平臺及方法。背景技術(shù)隨著近年來超精密機(jī)械制造、微型機(jī)器人操作、精密光學(xué)測量儀器及生物醫(yī)學(xué)微觀操作等領(lǐng)域的發(fā)展，具有亞微米甚至納米級分辨力，毫米級乃至厘米級的大跨度多自由度微納操作平臺的設(shè)計(jì)日益成為限制上述等領(lǐng)域發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。20世紀(jì)80年代，A.Midha和L.L.Howell提出了柔順機(jī)構(gòu)的概念，極大的促進(jìn)了微納操作平臺設(shè)計(jì)方法的發(fā)展，打開了全新的設(shè)計(jì)理念。文獻(xiàn)DesignofaLargeRangeXYNanoposition...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。