技術(shù)編號：11823870
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種光學(xué)檢測裝置，尤其涉及一種高靈敏度表面微小瑕疵光學(xué)檢測裝置；同時，本發(fā)明還涉及一種高靈敏度表面微小瑕疵光學(xué)檢測方法。背景技術(shù)目前在對較大面積光滑表面的微缺陷檢測方面缺乏快速有效地方法。現(xiàn)有的基于機(jī)器視覺的檢測方法存在檢測速度慢，對微小缺陷靈敏度低等的缺點(diǎn)，無法滿足工業(yè)生產(chǎn)中對微小缺陷的在線檢測需求。采用激光散射方法可非常靈敏及快速地檢測光滑表面的微小瑕疵[參考文獻(xiàn)1：“MethodofInspectingMagneticDiscandApparatusTher...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。