技術編號：11826229
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體技術，尤指一種PN結(P-Njunction)。背景技術硅基光電子集成采用傳統(tǒng)微電子領域的硅材料作為光電子功能材料，具有尺寸小、成本低、易集成、與互補金屬氧化物(CMOS，ComplementaryMetalOxideSemiconductor)工藝兼容、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，被視為光通信、光互連成本和功耗瓶頸的理想解決方案。硅基電光調制器是硅基光電子集成中的代表性器件，成為學術界研究的熱點。由于硅是中心反演對稱晶體，沒有線性電光效應，而高階電光效應又非常微弱，只能通過其他效應來實現(xiàn)光...
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