技術(shù)編號：11836232
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及熱色智能薄膜的生產(chǎn)工藝，尤其是涉及一種熱色智能薄膜退火的監(jiān)控系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)氧化釩熱色智能膜的制備需要較為苛刻的溫度環(huán)境，即表現(xiàn)為氧化釩膜層從非晶態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榫哂邢嘧児δ艿木B(tài)的溫度通常在400℃～600℃，甚至更高的溫度。同時為了實(shí)現(xiàn)氧化釩熱色智能膜的應(yīng)用范圍，常常采用不同的基片作為沉積薄膜的襯底。由于制備溫度環(huán)境的要求，其可能采用的塑料膜襯底、玻璃襯底等難以在這樣的溫度范圍內(nèi)長時間放置，一般的塑料襯底如PET難以承受400℃左右的相對高溫，玻璃襯底在上述的溫度范圍內(nèi)出現(xiàn)破損或鋼化應(yīng)...
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