技術(shù)編號：11854427
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于電機檢測設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種電機軸向緩沖性能的檢測裝置。背景技術(shù)低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的晶圓制造設(shè)備附屬有與之匹配的低溫泵，圖1所示為這種低溫泵同步的電機1，電機1內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖2所示，包括轉(zhuǎn)子11和定子12，轉(zhuǎn)子11穿設(shè)在定子12中，定子12兩端由前端蓋13和后端蓋14蓋住，前...
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