技術編號：11880025
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種水平多關節(jié)工業(yè)機器人，用于在半導體制造廠輸送晶片。背景技術一般傳統(tǒng)的水平多關節(jié)機器人，對應于具有多個自由度的手臂關節(jié)的連接件被配備多個手臂旋轉驅動源，且分別驅動各個手臂，除了上述手臂旋轉驅動源之外，在一手臂的遠端還配備一機器人手旋轉驅動源。這種結構需要提供能源（如電纜布線或液壓油或氣體的管道）給手臂之間的連接件和手臂的遠端用于觸發(fā)手臂旋轉驅動源和機器人手旋轉驅動源。這樣，手臂和機器人手的旋轉運動給這些電纜布線和管道安排了機械載荷，從而降低了它自己的可靠性，而且在每個手臂設置旋轉驅動...
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