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      半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法與流程技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11925283

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      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electron-mechanicalsystem,MEMS)作為起源于上世紀(jì)90年代的跨學(xué)科的先進(jìn)制造技術(shù),廣泛應(yīng)用于改善人們生活質(zhì)量、提高人們生活水平和增強(qiáng)國(guó)力。微機(jī)電系統(tǒng)是利用半導(dǎo)體集成電路的微細(xì)加工技術(shù),將傳感器、制動(dòng)器、控制電路等集成在微小芯片上的技術(shù),也被稱為微納米技術(shù)。目前,在通信、汽車、光學(xué)、生物等領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。在一些MEMS領(lǐng)域中,為了滿足器件的功能需求,通常需要在晶圓的正反兩...
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