技術(shù)編號(hào):11925283
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electron-mechanicalsystem,MEMS)作為起源于上世紀(jì)90年代的跨學(xué)科的先進(jìn)制造技術(shù),廣泛應(yīng)用于改善人們生活質(zhì)量、提高人們生活水平和增強(qiáng)國(guó)力。微機(jī)電系統(tǒng)是利用半導(dǎo)體集成電路的微細(xì)加工技術(shù),將傳感器、制動(dòng)器、控制電路等集成在微小芯片上的技術(shù),也被稱為微納米技術(shù)。目前,在通信、汽車、光學(xué)、生物等領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。在一些MEMS領(lǐng)域中,為了滿足器件的功能需求,通常需要在晶圓的正反兩...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。