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      具有高濃度硼摻雜鍺的晶體管的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):11925570

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      具有高濃度硼摻雜鍺的晶體管本申請(qǐng)為分案申請(qǐng),其原申請(qǐng)是2013年6月21日進(jìn)入中國國家階段、國際申請(qǐng)日為2011年12月7日的國際專利申請(qǐng)PCT/US2011/063813,該原申請(qǐng)的中國國家申請(qǐng)?zhí)柺?01180062124.7,發(fā)明名稱為“具有高濃度硼摻雜鍺的晶體管”。背景技術(shù)包括形成于半導(dǎo)體襯底上的晶體管、二極管、電阻器、電容器及其他無源和有源電子器件的電路器件的提高的性能,通常是在這些器件的設(shè)計(jì)、制造和操作過程中考慮的主要因素。例如,在金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)晶體管半導(dǎo)體器件(例如在互補(bǔ)...
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