技術(shù)編號(hào):11937667
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,更具體涉及抗瞬變噴頭。背景技術(shù)半導(dǎo)體處理工具經(jīng)常包括被設(shè)計(jì)成在整個(gè)半導(dǎo)體襯底或晶片以相對(duì)均勻的方式分配處理氣體的部件。這些部件在業(yè)內(nèi)通常被稱為“噴頭”。噴頭一般包括在內(nèi)部可以處理半導(dǎo)體襯底或者晶片的半導(dǎo)體處理容積空間前面的面板。面板可包括多個(gè)氣體分配端口,這些端口使得在充氣室容積空間內(nèi)的氣體能夠流過(guò)面板并進(jìn)入襯底和面板之間(或支撐晶片的晶片支撐件和面板之間)的反應(yīng)空間。在一些情況下,噴頭可被配置為在該噴頭內(nèi)將兩種不同氣體彼此隔離的同時(shí),以同步方式在整個(gè)半導(dǎo)體襯底或...
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