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      電子器件及其制造方法、量子干涉裝置、振蕩器與流程技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:11959140

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      本發(fā)明涉及電子器件、量子干涉裝置、原子振蕩器、心磁計、振蕩器、電子設(shè)備、移動體和電子器件的制造方法。背景技術(shù)已知將功能部件收納到氣密密封的封裝內(nèi)的電子器件(例如,參照專利文獻(xiàn)1)。例如,專利文獻(xiàn)1記載的蒸氣室原子鐘表物理封裝具有:陶瓷主體和與陶瓷主體接合的陶瓷蓋部,陶瓷主體和陶瓷蓋部劃分確定出收納激光器、波片、蒸氣室、加熱器和光檢測器等的空腔部。在這種封裝中,通常通過對空腔部進(jìn)行真空密封,實現(xiàn)例如加熱器的節(jié)電化等特性的提高。但是,在專利文獻(xiàn)1記載的封裝中,存在以下問題:由于在密封時或密封后從配置...
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