技術(shù)編號(hào)：11992219
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微納操作裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種體積小、精度高、運(yùn)動(dòng)范圍大、適用性廣的微納操作裝置。背景技術(shù)利用光學(xué)顯微鏡或電子顯微鏡可以觀察到材料的表面形貌，其分辨率可達(dá)到微米、納米級(jí)別。在研究材料表面形貌的同時(shí)，近年來材料研究者越來越關(guān)注對(duì)于所觀察到的微納米材料，利用微操作手進(jìn)行操控和力學(xué)、電學(xué)性能等的測(cè)試和研究。用于掃描電鏡的微操作裝置在國(guó)際上市場(chǎng)上只有幾個(gè)公司的產(chǎn)品，KleindickKanorochnik，KlockeNanotechnik，Omiprobe和Zyvex等公司，其步長(zhǎng)達(dá)到納...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。