技術(shù)編號：12003692
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及自動控制領(lǐng)域，具體地，涉及高精度電動掃描臺。背景技術(shù)電動掃描臺是實現(xiàn)平面掃描運動的基礎(chǔ)部件，在工業(yè)檢測、顯微掃描領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。目前市場上的兩軸掃描臺，多數(shù)采用步進電機和絲杠傳動的方式。由于步進電機的精度局限性和絲杠傳動的反向間隙，市面上的電動掃描臺具有響應(yīng)速度慢，定位精度低等問題。此外，還容易出現(xiàn)高速振動、低速爬行、外形笨重等缺點。實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實用新型的目的是提供一種高精度電動掃描臺。根據(jù)本實用新型提供的高精度電動掃描臺，包括：支撐底板、運動下板、運動上板以...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。