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      晶圓移動(dòng)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):12005235

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      本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種晶圓移動(dòng)裝置。背景技術(shù)集成電路的制作過(guò)程包含在晶圓上所進(jìn)行的數(shù)十次甚至上百次繁復(fù)的制程,比如,多次重復(fù)的氧化、擴(kuò)散、光刻、蝕刻、物理氣相沉積以及化學(xué)氣相沉積等,制作過(guò)程中,晶圓需要在各個(gè)機(jī)臺(tái)之間移動(dòng),以及在不同的晶圓盒(cassette)或者晶舟(boat)間移動(dòng)。在機(jī)臺(tái)運(yùn)行過(guò)程中,難免會(huì)出現(xiàn)機(jī)臺(tái)故障,或者在移動(dòng)過(guò)程中晶圓位置出現(xiàn)偏差。這些情況發(fā)生時(shí),往往需要手動(dòng)將晶圓從機(jī)臺(tái)內(nèi)部或者晶圓盒中取出或者手動(dòng)進(jìn)行位置校正,但是工作人員通過(guò)手直接接觸晶圓,不...
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