技術(shù)編號：12110944
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種濺射薄膜溫度壓力復(fù)合傳感器及其制作方法，尤其適用于低成本、低功耗，高可靠性，高穩(wěn)定性，長壽命的要求下實(shí)現(xiàn)同時(shí)測量氣體、液體溫度和壓力的場合，或需要在原來只有壓力測量功能的測量點(diǎn)增加溫度測量功能的情況。對于復(fù)雜智能傳感網(wǎng)絡(luò)的搭建，以及某些工業(yè)環(huán)境、軍事裝備、航空航天航海等領(lǐng)域，在升級或改變原來設(shè)備、系統(tǒng)存在困難，同時(shí)又不能改變壓力測量接口情況下的使用具有非常實(shí)際的意義。背景技術(shù)壓力、溫度傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、軍事裝備、航空航天航海等各個(gè)領(lǐng)域中?，F(xiàn)有的單獨(dú)具有溫度和壓力測量功能的傳...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。