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      光敏性絕緣樹脂組合物及其絕緣膜的制造方法與流程技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:12175195

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      本發(fā)明是涉及一種適用于半導(dǎo)體組件的層間硬化物(絕緣膜)、表面保護(hù)膜(外套膜)、高密度封裝基材用硬化物等的光敏性絕緣樹脂組合物,特別是涉及一種能形成具有良好的耐熱性、耐溶劑性與涂布均勻性的絕緣膜的正型光敏性絕緣樹脂組合物。背景技術(shù)在半導(dǎo)體制程中,如液晶顯示組件或光學(xué)組件等,于基材上形成一保護(hù)膜為重要的工藝。由于當(dāng)制程中需于嚴(yán)苛條件下進(jìn)行處理程序,例如以酸性溶液或堿性溶液浸泡基材表面,或以濺射(Sputtering)形成配線電極層于基材表面時產(chǎn)生局部高溫,因此需于組件或膜層的表面上鋪設(shè)保護(hù)膜,以防止...
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