技術(shù)編號(hào)：12208081
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及鍺烷生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)。背景技術(shù)鍺烷是一種在半導(dǎo)體工業(yè)上有重要用途的分解爆炸危險(xiǎn)性，同時(shí)毒性很高的無色氣體，一直以來，我國的鍺烷基本都是從外面進(jìn)口的，在此之前在國內(nèi)基本沒有鍺烷的生產(chǎn)基地，有也只是比較簡(jiǎn)陋，沒有一個(gè)很好的反應(yīng)系統(tǒng)，無法確保安全和穩(wěn)定性，而鍺烷的生產(chǎn)設(shè)施設(shè)備更是一片空白，在我國鍺烷的生產(chǎn)一直都是技術(shù)的一個(gè)難題，同時(shí)對(duì)整個(gè)的鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)的要求較高，對(duì)反應(yīng)釜內(nèi)部的清潔度要求很高。發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種鍺烷反應(yīng)系統(tǒng)，以滿足國內(nèi)鍺烷生產(chǎn)的空白，同時(shí)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。