技術(shù)編號:12237698
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種超純水制備系統(tǒng),具體涉及一種全自動超純水制備系統(tǒng),屬于水處理設(shè)備領(lǐng)域。背景技術(shù)超純水,電阻率達到的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等,此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路和真空管等的制作也都要使用超純水。水是實驗室中使用最多的物質(zhì),大量被應用于各類分析檢測科研試驗中,在配制化學試劑中水也是使用最多的溶劑。在儀器分析,高純分析,痕量分析實驗及配制化學試劑過程中,所使用的水的純度非常重要,水中的多余離子和可溶性有...
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