技術(shù)編號(hào)：12265447
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域，具體地涉及一種微殼體諧振器及其諧振子制備方法。背景技術(shù)近年來(lái)，高對(duì)稱三維MEMS結(jié)構(gòu)的精確制備得到一定的發(fā)展，為殼體諧振器的微型化奠定了基礎(chǔ)?；贛EMS工藝的高對(duì)稱的二維或三維第二類哥式振動(dòng)陀螺的設(shè)計(jì)和制備使MEMS速率積分陀螺成為可能，速率積分陀螺的輸出是角度而不是角速度，可帶來(lái)高動(dòng)態(tài)范圍和高線性度的優(yōu)點(diǎn)。微殼體諧振器作為MEMS陀螺中最有可能實(shí)現(xiàn)慣導(dǎo)級(jí)性能速率積分陀螺的一類器件，已成為國(guó)內(nèi)外研究熱點(diǎn)。實(shí)現(xiàn)高性能微殼體諧振器的困難在于微殼體諧振子的制...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。