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技術(shù)編號：12283941

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用于沉積納米管的設(shè)備本發(fā)明涉及一種用于在基板上沉積尤其含碳的結(jié)構(gòu)、例如納米管或石墨形式的層的設(shè)備，所述基板由被安置在處理室殼體內(nèi)的基板支架支承，其中，通過安置在處理室殼體內(nèi)的進氣機構(gòu)的排氣口能夠朝著至少一個基板的方向供給處理氣體。DE19522574A1、US2010/0319766A1和US2013/0084235A1描述了一種用于涂覆基板的裝置?；宀糠值匕仓迷诨逯Ъ苌?；但是基板也部分地在兩個對置的進氣機構(gòu)之間懸空。US2013/0089666A1描述了兩個具有寬側(cè)面的銅基板。本發(fā)明涉及一...
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