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技術(shù)編號：12285519

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本發(fā)明涉及一種針對由石墨構(gòu)成的PECVD舟皿的保護層，PECVD舟皿尤其是在光伏工業(yè)中用于容納晶圓以及用于在PECVD涂覆設(shè)備中傳輸晶圓或?qū)⒕A傳輸穿過該PECVD涂覆設(shè)備。背景技術(shù)PECVD(Plasmaenhancedchemicalvapordeposition，等離子體增強化學(xué)氣相沉積)被理解為利用等離子體的支持來對表面進行涂覆。也被稱為晶圓舟皿的PECVD舟皿通常由石墨構(gòu)成，并且用于安全地容納盡可能多的由玻璃、硅或其他的適用于制造太陽能電池的材料構(gòu)成的晶圓，從而可以在沒有損壞晶圓的風(fēng)險...
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