技術(shù)編號：12415746
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及薄膜監(jiān)控領域，特別涉及一種制備多層膜元件過程中非靈敏層誤差控制方法及裝置。背景技術(shù)近年來，隨著光學科學技術(shù)的不斷發(fā)展，對薄膜元件的性能指標要求越來越高，薄膜元件膜系設計與制備變得越來越復雜，對沉積工藝精度要求越來越高。尤其在多層膜元件從膜系設計到制備工藝實現(xiàn)的復雜度和難度非常之高，在一些條件下比較復雜的多層膜元件的膜層數(shù)通常達到幾十層甚至上百層。并且在這些膜系大多是非規(guī)整膜系，如何實現(xiàn)在多層膜中薄膜厚度的精確控制成為能否成功制備多層膜元件的關(guān)鍵。通常情況下，薄膜研制人員采用晶控法或光控...
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