技術(shù)編號(hào)：12415754
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明表面處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種提高摻雜類金剛石膜層質(zhì)量的方法。背景技術(shù)碳基涂層如四面體類金剛石(ta－diamond-likecarbon，簡(jiǎn)稱ta－DLC)薄膜是以碳為基本元素構(gòu)成的一種非晶材料。類金剛石薄膜(DLC)它在結(jié)構(gòu)上屬于非晶亞穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)的無定形碳，是由sp3雜化和sp2雜化碳組成：薄膜中sp3結(jié)構(gòu)決定了類金剛石薄膜具有諸多類似于金剛石的優(yōu)良特性，而sp2結(jié)構(gòu)決定了類金剛石薄膜又具有很多石墨的特性，國(guó)際上將硬度超過金剛石硬度20％的絕緣硬質(zhì)無定形碳膜稱為類金剛石膜。在制備工藝方面...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。