技術(shù)編號:12415758
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種等離子體增強化學氣相沉積生長石墨烯的方法,主要是甲烷作為前驅(qū)體碳源,利用石英片表面鍍有一層金屬介質(zhì)膜,在石英片表面與鎳金屬接觸的界面催化原位生長出石墨烯薄膜,制備出無需轉(zhuǎn)移的大面積少層(1~5個原子層)石墨烯結(jié)構(gòu)的方法。背景技術(shù)碳有多種多樣的存在形式,如礦藏形式,自然界中循環(huán),或者在恒星中形成,并且碳的獨特化學性質(zhì),使其能在自然界中以多種單質(zhì)形式存在。隨著人類對于碳元素的不斷探索和認知,碳單質(zhì)的各種同素異形體也不斷被發(fā)現(xiàn)。一直到2004年,英國著名科學家Geim和Novoselov...
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