技術(shù)編號(hào)：12415804
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽能硅電池片生產(chǎn)技術(shù)，尤其涉及一種石墨舟上下料裝置及其上下料方法。背景技術(shù)PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積設(shè)備）是太陽能硅電池片生產(chǎn)線上最重要的工藝設(shè)備之一，通過該設(shè)備可在硅電池片上鍍一層抗反射膜，從而達(dá)到提高電池片效率的目的。石墨舟是工藝過程中硅電池片的承載工具，硅電池片通過自動(dòng)插\取片機(jī)（自動(dòng)插\取片機(jī)是實(shí)現(xiàn)硅電池片生產(chǎn)自動(dòng)化的又一重要設(shè)備，用于硅片插放和取出石墨舟，實(shí)現(xiàn)硅片在花籃和石墨舟之間互換）裝...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。