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      防止襯底雜質外擴散的方法與流程技術資料下載

      技術編號:12473832

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      本發(fā)明涉及半導體器件制造領域,特別是指一種TVS器件制造工藝中的防止襯底雜質外擴散的方法。背景技術電壓及電流的瞬態(tài)干擾是造成電子電路及設備損壞的主要原因,常給人們帶來無法估量的損失。這些干擾通常來自于電力設備的起停操作、交流電網的不穩(wěn)定、雷擊干擾及靜電放電等。一種高效能的電路保護器件TVS的出現使瞬態(tài)干擾得到了有效抑制。TVS(TransientVoltageSuppressor)或稱瞬變電壓抑制二極管是在穩(wěn)壓管工藝基礎上發(fā)展起來的一種新產品,TVS和齊納穩(wěn)壓管都能用作穩(wěn)壓,但是齊納擊穿電流更小...
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