技術(shù)編號：12477977
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種制作偶極子天線的異質(zhì)Ge基等離子pin二極管的制備方法。背景技術(shù)在現(xiàn)代化通信和遙感系統(tǒng)中，可重構(gòu)天線，尤其是頻率可重構(gòu)天線，能在多個頻率下工作，極大地拓展了天線的應(yīng)用范圍，一直是國內(nèi)外天線領(lǐng)域研究的重點之一。目前，國內(nèi)外應(yīng)用于等離子可重構(gòu)天線的pin二極管采用的材料均為體硅材料，此材料存在本征區(qū)載流子遷移率較低問題，影響pin二極管本征區(qū)載流子濃度，進而影響其固態(tài)等離子體濃度；并且該結(jié)構(gòu)的P區(qū)與N區(qū)大多采用注入工藝形成，此方法要求注入劑量和能量較大，...
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