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      探測范圍可調的IV族紅外光電探測器及其制備方法與流程技術資料下載

      技術編號:12478887

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      本發(fā)明屬于半導體器件技術領域,具體涉及一種探測范圍可調的IV族紅外光電探測器及其制備方法。背景技術光電探測器通常在低溫環(huán)境下工作,其對環(huán)境溫度非常敏感。溫度較小的增加將引起暗電流的急劇增大,影響探測器的應用。故一般需要對其進行冷卻,以提高準確度。高質量Ge單晶材料作為高靈敏近紅外光電探測器的主要材料已經有很多年了,但是其對環(huán)境要求十分苛刻,對于這樣的探測器一般需要冷卻到77K以減小暗電流,這就使得其非常昂貴并且限制了其使用?,F今常用的近紅外光電探測器為III-V族材料光電探測器,III-V族和硅...
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