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      在PSTTM MTJ結(jié)構(gòu)中的磁性擴散阻擋層和過濾層的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:12513620

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      在PSTTMMTJ結(jié)構(gòu)中的磁性擴散阻擋層和過濾層技術(shù)領(lǐng)域存儲器設(shè)備,且特別是自旋轉(zhuǎn)移力矩存儲器(STTM)設(shè)備。背景技術(shù)在集成電路中的部件的按比例調(diào)整是支持日益增長的半導(dǎo)體工業(yè)的驅(qū)動力。按比例調(diào)整到越來越小的部件使在半導(dǎo)體芯片的有限占有區(qū)上的功能單元的增加的密度成為可能。例如,縮小晶體管尺寸允許在芯片上的增加數(shù)量的存儲器設(shè)備的合并,導(dǎo)致具有增加的能力的產(chǎn)品的制造。然而,對越來越多的能力的推動不是沒有問題。優(yōu)化每個器件的性能的必要性變得日益重要。自旋力矩設(shè)備的操作基于自旋轉(zhuǎn)移扭矩的現(xiàn)象。如果電流穿...
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