技術(shù)編號：12521242
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種真空爐體及其使用的輔助陽極【技術(shù)領(lǐng)域】本實(shí)用新型涉及一種真空爐體及其使用的輔助陽極。【背景技術(shù)】在真空爐體內(nèi)進(jìn)行鍍膜磁控濺射的過程中，如果不加輔助陽極，等離子體中的電子在電磁場的共同作用下到達(dá)就近接地的鍍膜室內(nèi)表面，在運(yùn)動過程中碰到中性粒子會進(jìn)一步電離，但通常運(yùn)行路徑短，電離效果不顯著。當(dāng)增設(shè)輔助陽后，輔助陽極的電位為正電位，比鍍膜室電勢高，等離子體中的部分電子將向電勢更高的陽極集結(jié)。在集結(jié)過程中路徑被延長，并獲得了更多的能量。在電子向陽極運(yùn)動過程中，電子會與途中的中性粒子發(fā)生碰撞，導(dǎo)致鍍膜...
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