技術(shù)編號：12569081
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)，尤其涉及一種帶有蒸汽源的多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)。背景技術(shù)目前的多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中，無論是氫化過程、還原過程，還是提純和尾氣，都需要用到大量的蒸汽，一般設(shè)置有蒸汽鍋爐作為蒸汽源為各個工序供應(yīng)蒸汽。由于不同工序需要的蒸汽壓力和溫度不相同，但是一個蒸汽鍋爐供應(yīng)的蒸汽又是固定標(biāo)準(zhǔn)的。所以，對于需要稍低壓力和溫度的工序(如還原和提純工序)，一般都采用降壓裝置為蒸汽降溫降壓，然后供應(yīng)給這些工序。這個降溫降壓的過程，造成了能量的較大浪費(fèi)，整體成本升高。有鑒于此，有必要提供一種生產(chǎn)成本更低的...
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